液冷板真空钎焊炉简介
针对AI液冷板的精密制造要求，博纳热成功推出液冷板真空钎焊炉设备，融合高精度钎焊与液冷制造技术，为人工智能、高密度数据中心等行业提供高性能液冷系统的可靠焊接方案。
在液冷板制造过程中，钎焊工艺需达到1200℃以上高温环境，同时确保焊接表面高度平整，并满足氦质谱检漏≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s的严苛密封标准。产品还需具备≥60MPa的剪切强度、≥1.5MPa的耐压能力以及优异的热循环耐久性。
目前，这款AI液冷板真空钎焊炉已在人工智能与半导体企业实现成功应用，获得了行业客户的认可，为设备进一步拓展在人工智能、大数据中心及3C电子等领域的应用奠定了坚实的技术基础。
设备结构
1. 炉体构造：采用双层循环水冷炉体设计，内层采用SUS304高光不锈钢板，实现洁净表面，外层采用Q345高强度结构钢，确保设备整体刚性与热稳定性。
2. 加热系统：采用特制钼镧合金加热带，结合双压边增强工艺，确保在长期高温工作环境中保持稳定的结构形态与热学性能。
3. 温度控制系统：配备智能可编程温控仪表，具备PID自动调节功能，支持多达50段工艺曲线编程，集成数显功率调节单元，实现精确电压控制与过载电流保护机制。
4. 真空系统：构建三级真空机组体系，通过机械泵、罗茨泵与扩散泵的协同工作，建立稳定高效的高真空环境，满足精密焊接工艺需求。
设备特点
1、真空钎焊炉可以达到达到1350℃的高温，兼容各类复杂真空钎焊工艺的技术标准。
2、采用多温区（≥3区）独立温度控制系统，在500～1250℃工作区间内实现分段控温，确保整体温场均匀性控制在±3℃以内。
3、真空系统采用机械泵、罗茨泵与扩散泵/分子泵组合配置，并配备专用高真空启动阀门及冷阱装置，系统极限真空可达8×10⁻⁴Pa，常规工作真空维持在4×10⁻⁴Pa水平。
4、系统压升率≤0.3Pa/h，有效控制炉内气氛稳定性，从而降低焊接产品内部缺陷风险。
5、具备惰性气体强制冷却功能，通过可控气氛快速冷却工艺，提升生产效率。
6、支持根据客户产品特点定制高温合金承料架结构，在保证装夹稳定性的同时，实现装载容量的最大化设计。
7、关键电气控制元件、仪器仪表及真空系统核心部件均选用国际知名品牌产品，确保设备在全生命周期内保持高可靠性与稳定性。
技术参数
型 号 | BR-QHM-669 | BR-QHM-8812 |
|---|---|---|
炉膛尺寸 | 600x600x900mm（宽x高 x深） | 800x800x1200mm（宽x高 x深 |
装载量 | 800kg | 1800Kg |
最高工作温度 | 1350 oC | |
长期工作温度 | ≤1300℃ | |
电压及额定功率 | 380V，三相，总功率230KW，加热功率 180kW，快冷风机15KW | |
炉壳结构 | 双层水冷炉壳。内层为SUS304抛光镜面不锈钢；外层为Q345高强度碳钢。 | |
温区 | 3温区控温；前门、后门、炉体分别单独控温。 | 4温区控温；前门、后门、炉体2段分别单独控温。 |
真空度 | 极限真空度8x10-4Pa;（空炉、冷态、净化后） 工作真空度 4x10-3Pa.(空炉、净化后，产品的放气量大小也会直接影响真空度。) | |
压升率 | ≤0.3Pa/h (充分除气后) | |
控温精度 | ± 1 oC | |
温场均匀性 | ± 3oC 温度测试点：500、700℃、850℃、1000℃、1150℃、1250℃。 （1000℃以内用K线测温；1000℃以上使用测温环测温） | |
加热速率 | <0-20 oC /分钟可调 1000oC以下，推荐升温速率<0-10 oC /分钟 1000oC--1300oC, 推荐升温速率<0-5oC/分钟 | |
快冷系统 | 氮气冷却，热交换器，功率15KW，压力2bar 快速冷却，500℃-室温，大约需要40-45分钟。 | |
热电偶 | 控温热电偶：S型 1支 超温报警热电偶：S型 1支 热电偶保护管为纯度 99.7%的刚玉管 | |
加热元件和炉膛 | 高温钼镧合金带，双压边加强处理，高温不变型 隔热屏为内4层高温钼，外4层310S耐热不锈钢 | |
温控系统 | l 温控仪表采用英国欧陆，控温精度0.1级。 l 温度控制:可编程控温仪表，PID调节，可编程50段曲线； l 功率调整器模块，数显式面板，精准调压，并具有限流功能。防止异常情况出现时，电流突然过大引起跳闸，损坏电气元件等。 l 温控仪表：线性电流输出，触发器移相触发反并联双向可控硅，精确控制温度的精度。超温和断偶报警。 l 电器元件选用施耐德、ABB等国际一线品牌，保证质量，经久耐用。 | |
人机界面（HMI） | 15寸液晶屏，可编制，512M内存，HMI内置网口，可扩展无线联网，手机APP远程操控。 | |
真空系统 | 机械泵+扩散泵+罗茨泵，均选用进口品牌。扩散泵专用启动高阀和冷阱，304不锈钢真空管道，柔性连接，复合数显式真空计 | |
气路 | 一进一出，超压电磁阀自动打开，并联机械泄压阀作为备用 | |
水冷 | 不锈钢管，耐压防爆；装有水压检测、水流检测和水温检测，声光报警 | |
进出料 | 自动料车，定制料架 | |
