产品详情
CVD/PECVD气相沉积炉简介
CVD/PECVD气相沉积炉，采用等离子体化学气相沉积技术，为各种金属、半导体、绝缘体等材料提供卓越的薄膜沉积解决方案，广泛的应用领域涵盖微电子、光电、平板显示、储能等多个行业。
CVD/PECVD气相沉积炉特点
高温极限：达到1200℃(通过HRE电阻丝加热)，满足高温沉积需求。
智能控制：配备50段可编程自动控制系统，实现精准控制。
安全防护：具备超温保护和漏电自动断电功能，确保操作安全。
cvd气相沉积
高效散热：双层风冷结构和50℃以下表面温度，保障设备稳定运行。
卓越保温：炉膛采用日本技术真空吸附成型的氧化铝多晶纤维，保温效果出众。
高品质密封：采用304不锈钢KF快卸密封法兰，确保工艺过程的密封性。
快速升温：升温速率不超过20℃/分，提高生产效率。
精准控温：控温精度达到±1℃，确保薄膜质量。
高沉积速率：射频辉光技术使沉积速率高达10Å/S，大幅提升生产效率。
pecvd气相沉积炉
大面积均匀性：通过多点射频馈入技术和特殊气路分布，实现薄膜均匀性8%的优异指标。
高一致性：遵循半导体行业设计理念，基片间偏差低于2%，确保产品质量一致性。
工艺稳定：设备高度稳定，保证工艺的连续性和稳定性。
高效真空系统：标配直连式真空泵，极限真空度可达10Pa，确保高质量沉积环境。
精准流量控制：标配三路质量流量计，实现气体流量的精确控制。
强大射频电源：等离子射频电源功率高达500W，输出频率稳定在13.56MHz±0.005%，适应不同工艺需求。
pecvd
可选配件
高端真空系统：根据客户需求，提供最高真空度可达7x10-4Pa的分子泵真空系统。
混气系统：提供混气系统及质量流量计，满足复杂气体混合和流量控制需求。
高清触控屏：可选高清触控屏，实现更直观、便捷的操作体验。
技术参数
| 产品名称 | CVD化学气相沉积系统 |
| 产品型号 | BR-CVD/PECVD |
| 滑道 | 带滑道，可滑动炉膛，实现快速升温或冷却功能 |
| 加热区长度 | 400mm 单温区/双温区 |
| 炉管尺寸 | 直径60x1200mm 外径x长 |
| 炉管材质 | 高纯石英管 |
| 工作温度 | ≤1100℃ |
| 温控系统 | 人工智能PID仪表，自动控制温度 |
| 温控精度 | ±1℃ (具有超温及断偶报警功能) |
| 加热速率 | 建议 0~10℃/min |
| 加热元件 | 高品质电阻丝 |
| 真空系统 | |
| 额定电压 | 单相 220V 50Hz |
| 可通气体 | 氮气、氩气等惰性气体 |
| 测温元件 | 热电偶测温 |
| 壳体结构 | 双层壳体结构带风冷系统 |
| 真空法兰 | 带有进气口，另一端带控压阀，气动泄压阀和放气阀。 |
| 供气系统 | 四路精密质子流量计，通过触屏来调节气体流量 |
| 真空系统 | 旋片泵，真空度在空炉冷态可达1pa， 真空计：进口数显真空计实时显示真空度，精度高。 |
| 气体定量系统 | 整体可以控制压力范围-20kpa到20kpa(相对压力) |
| 额定电压 | 单相 220V 50Hz |
| 射频电源（仅PECVD） | |
| 信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率输出范围 | 500W |
| 最大反射功率 | 500W |
| 射频输出接口 | 50Ω,N-type,female |
| 功率稳定度 | ±0.1% |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 整机效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 型号 | 炉管直径x加热区长度 | 炉管长度（mm） | 功率(kW) | 最高温度 | 气体控制 | 真空度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BR-CVD-60 | φ60×400mm | 1200 | 3 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
| BR-CVD-80 | φ80×400mm | 1200 | 4 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
| BR-CVD-100 | φ80×400mm | 1200 | 6 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
| 型号 | 炉管直径x加热区长度 | 功率(kW) | 最高温度 | 频率 | 功率 | 气体控制 | 真空度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BR-PECVD-60 | φ60×450mm | 4 | 1200℃ | 13.56MHz±0.005% | 300-500W | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
| BR-PECVD-80 | φ80×450mm | 5 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa | ||
| BR-PECVD-100 | φ100×450mm | 7 | 1200℃ | 3路 | 10Pa/7x10-3Pa |
